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第1章　绪论1

参考文献3

第2章　惯性传感器5

2.1　简介5

2.2　惯性传感器的应用5

2.3　加速度的基本概念7

2.4　直线运动惯性传感器参数8

2.5　旋转运动的惯性传感器参数15

2.6　惯性传感器件的微机械加工技术17

2.7　微加工工艺加工问题19

2.8　惯性传感器的系统问题23

2.9　结束语27

参考文献27

第3章　微机械压力传感器：器件、接口电路及性能34

3.1　简介34

3.2　器件结构和性能测试34

3.3　压阻式压力传感器38

3.4　电容式压力传感器46

3.5　伺服控制压力传感器59

3.6　其他压力传感方式64

3.7　结论71

参考文献71

第4章　表面微加工器件75

4.1　引言75

4.2　材料特性和几何结构76

4.3　应力与应变76

4.4　机械设计80

4.5　封装93

4.6　应用95

4.7　MEMS失效机理102

4.8　结论107

参考文献107

第5章　微执行器109

5.1　引言109

5.2　压电执行器114

5.3　电磁驱动器120

5.4　形状记忆合金驱动器129

参考文献136

第6章　湍流传感器与执行器139

6.1　绪论139

6.2　MEMS工艺概述141

6.3　湍流145

6.4　用于湍流测量和控制的传感器151

6.5　用于流动控制的微执行器184

6.6　微透平机械193

6.7　结论197

参考文献198

第7章　微机器人技术207

7.1　引言207

7.2　什么是微机器人208

7.3　微机器人的应用环境211

7.4　微机器人的制造技术216

7.5　微机器人器件219

7.6　多机器人系统（微型工厂和桌面工厂）234

7.7　结论与讨论237

参考文献238

第8章　微型真空泵246

8.1　引言246

8.2　基础知识248

8.3　泵尺度250

8.4　MEMS真空系统的极限压强和抽气能力256

8.5　MEMS系统的工作压强和N需求257

8.6　尺度规律综述257

8.7　新型泵送技术259

8.8　结论266

参考文献268

第9章　非线性动电器件272

9.1　引言272

9.2　非线性动电现象274

9.3　交流动电现象278

9.4　小结287

参考文献287

第10章　微液滴发生器291

10.1　简介291

10.2　微液滴发生器的工作原理291

10.3　物理和设计问题297

10.4　微液滴发生器的制造306

10.5　液滴产生的特性308

10.6　应用311

10.7　结束语317

参考文献317

第11章　微热管和微散热器322

11.1　概述322

11.2　单个微热管329

11.3　微热管阵列337

11.4　平板微散热器342

11.5　新设计345

11.6　概要和结论349

参考文献349

第12章　微通道热沉353

12.1　绪论353

12.2　微通道内对流换热的基本原理354

12.3　微通道内单相对流换热359

12.4　微通道内两相对流换热367

12.5　小结376

参考文献377

第13章　流动控制380

13.1　绪论380

13.2　一般性原理381

13.3　“驯悍记”（The Taming of the Shrew）386

13.4 湍流控制387

13.5　抽吸388

13.6　相干结构389

13.7　反应式流动控制392

13.8　磁流体控制399

13.9　混沌控制403

13.10　软计算408

13.11　应用MEMS技术的反应式控制412

13.12　总结414

参考文献414

第14章　用于边界层减阻的反应式控制425

14.1　绪论425

14.2　近壁流向涡426

14.3　反相控制427

14.4　基于壁上检测的反应式控制430

14.5　有源壁运动434

14.6　结束语436

参考文献437

第15章 自由剪切流的MEMS自主控制439

15.1　绪论439

15.2　自由剪切流439

15.3　剪切层MEMS控制系统组件和问题440

15.4　三角翼上滚动力矩的控制445

15.5　超声速射流啸音的控制452

15.6　低雷诺数翼上分离的控制461

15.7　对未来的思考464

参考文献466